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1月(yue)16日，中(zhong)国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称(cheng)：中(zhong)科仪）顺利通(tong)过北(bei)京证券交(jiao)易所上市委员会2026年第4次审议(yi)会议(yi)。
本次发行的中(zhong)介机构包括保荐机构招商(shang)证券，保荐代表人孙越、王越；容诚会计师事务所（特殊普通(tong)合伙），签(qian)字会计师刘洪伟(wei)、王明健、张英通(tong)；北(bei)京市中(zhong)伦律师事务所，签(qian)字律师都伟(wei)、尚红超、姚腾越，以及评估机构北(bei)京中(zhong)企华资产评估有限责任公司，签(qian)字评估师马继跃、王晨煜。
中(zhong)科仪成立于(yu)2001年4月(yue)，主营业务为干式真空泵(beng)和真空科学仪器设(she)备的研发、生产、销售及相(xiang)关技术服务；产品主要包括用于(yu)集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵(beng)，以及面向国家重大科技基础设(she)施(shi)和科研领域(yu)的真空科学仪器设(she)备。
作(zuo)为国内领先的半导体制造设(she)备核心部件提供商(shang)，公司长(chang)期专注于(yu)为集成电路、化合物半导体、航空航天等前(qian)沿领域(yu)提供洁净真空、超高真空解(jie)决方案，有效(xiao)保障了我国集成电路制造设(she)备关键零部件的自主可控和供应链(lian)安全(quan)。
值得一(yi)提的是，身为中(zhong)国科学院下属专注于(yu)洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，中(zhong)科仪拥有真空技术装备国家工程研究中(zhong)心、国家真空仪器装置工程技术研究中(zhong)心、国家企业技术中(zhong)心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。
技术研发是中(zhong)科仪构建核心竞争力的基石。依托中(zhong)科院深厚的技术积淀，公司构建了以洁净真空、超高真空技术为核心的平台级技术体系，在干式真空泵(beng)的核心结构设(she)计、流体力学优化、耐腐(fu)蚀材料应用等关键领域(yu)实现自主突破。公司持续(xu)加大研发投入，聚(ju)焦新一(yi)代产品迭代，2022年至2024年研发投入规模稳步增长(chang)，研发成果(guo)转化效(xiao)率显著。
在干式真空泵(beng)领域(yu)，中(zhong)科仪的研发创新打破欧美及日本企业的长(chang)期垄断：干式真空泵(beng)产品满足14nm先进逻辑芯(xin)片以及128层及以上3DNAND等存储器工艺的生产需(xu)要，已在中(zhong)国各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛支持国内主流晶圆制造企业，以及客户A等国内主流集成电路设(she)备制造企业，并已通(tong)过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证实现小批量出货。除硅(gui)基半导体外，公司干式真空泵(beng)产品也可广泛应用于(yu)碳化硅(gui)、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交(jiao)付。
与此同时(shi)，中(zhong)科仪是集成电路领域(yu)出货量最大的国产干式真空泵(beng)制造企业，是唯一(yi)在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，是唯一(yi)在清洁、中(zhong)等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效(xiao)保障了我国集成电路制造设(she)备关键部件的自主可控和供应链(lian)安全(quan)。全(quan)景网了解(jie)到，在真空科学仪器设(she)备领域(yu)，公司先后承担(dan)北(bei)京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥(fei)国家同步辐射装置、上海三代光源、北(bei)京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项(xiang)国家重大科技基础设(she)施(shi)的建设(she)工作(zuo)，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前(qian)端区等的最主要研制单位，其中(zhong)公司作(zuo)为上海光源主要参(can)与者，于(yu)2013年获得国家科技进步一(yi)等奖。另外，公司前(qian)身成功研制了第一(yi)台国产分子束外延(yan)设(she)备（MBE），打破国外长(chang)期禁运，在科研用MBE设(she)备研制领域(yu)居于(yu)国内领先地位。
中(zhong)科仪核心经营情(qing)况
业绩方面，中(zhong)科仪近年来保持营收稳健增长(chang)态(tai)势。招股书（上会稿(gao)）显示，2022年-2024年，中(zhong)科仪分别实现营业收入从6.98亿元、8.52亿元及10.82亿元，年均复合增长(chang)率达25.4%；对应净利润分别为4.98亿元、6.00亿元、1.93亿元；毛利率方面，公司综合毛利率保持行业合理水平，2022年至2024年分别为28.66%、33.02%、29.44%，体现出较强的成本控制与产品竞争力。2025年上半年，公司延(yan)续(xu)经营稳定态(tai)势，实现营业收入5.74亿元，净利润1.38亿元，毛利率达28.15%。
干式真空泵(beng)是集成电路各制程中(zhong)实现真空环(huan)境所必需(xu)的零部件，集成电路产业15个主要工艺环(huan)节中(zhong)的11个需(xu)要使用干式真空泵(beng)。受(shou)益于(yu)近年来集成电路产业的稳定增长(chang)，干式真空泵(beng)产业也保持着良好的发展态(tai)势。以12英寸晶圆生产线为例，业内通(tong)常每6万片/月(yue)产能需(xu)要约3,500台干式真空泵(beng)。SEMI《世界晶圆厂预测报告》统计数据(ju)显示，2023年全(quan)球晶圆产能约当12英寸为1,316万片/月(yue)，较2022年增长(chang)约68万片/月(yue)。据(ju)此测算，包括新增产能对干式真空泵(beng)的采购(gou)需(xu)求以及原有产能对干式真空泵(beng)的替换需(xu)求，2023年全(quan)球集成电路产业对干式真空泵(beng)的需(xu)求为11.27万台，按单台泵(beng)均价10万元测算，全(quan)球市场规模约112.75亿元。同时(shi)，SEMI预计2024年全(quan)球晶圆产能较2023年增长(chang)84万片/月(yue)。据(ju)此测算，2024年全(quan)球集成电路产业对干式真空泵(beng)的需(xu)求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。行业拥有良好的发展前(qian)景。
中(zhong)科仪募投项(xiang)目情(qing)况（来源：招股书）
为持续(xu)强化研发与产业化能力，中(zhong)科仪本次IPO拟募集资金8.25亿元，分别投向三大核心项(xiang)目：其中(zhong)，2.31亿元拟用于(yu)干式真空泵(beng)产业化建设(she)项(xiang)目，届时(shi)将提升产能至年产20040台；4.74亿元拟用于(yu)高端半导体设(she)备扩产及研发中(zhong)心建设(she)项(xiang)目，完善(shan)高端产品生产配套与研发体系；而1.21亿元则用于(yu)新一(yi)代干式真空泵(beng)及大抽(chou)速干式螺杆泵(beng)研发项(xiang)目，聚(ju)焦超高速节能泵(beng)、超高温泵(beng)等前(qian)沿产品。这一(yi)布局将进一(yi)步巩固公司在集成电路领域(yu)的优势，加速推进高端真空设(she)备国产替代进程。
中(zhong)科仪的成功过会，恰逢国内半导体产业链(lian)企业奔赴北(bei)交(jiao)所上市的热潮(chao)期。在国产替代浪潮(chao)下，半导体设(she)备及核心部件企业备受(shou)资本青睐(lai)，中(zhong)科仪的上市进程不仅为自身发展注入动力，也将带动国内真空设(she)备产业链(lian)的协同升级，为资本市场增添优质半导体核心资产。
中(zhong)科仪干式真空泵(beng)产品主要面向集成电路和光伏产业，真空科学仪器设(she)备产品主要面向科学仪器领域(yu)。其下游产业均为关系国计民生、国家重点支持的战略性新兴(xing)产业，将带动干式真空泵(beng)、真空科学仪器设(she)备产业持续(xu)向好发展。业内人士表示，当前(qian)，全(quan)球半导体行业正迎来由先进制程升级与AI算力需(xu)求驱动的发展周(zhou)期，国内晶圆制造企业资本开支稳步增长(chang)，为国产真空设(she)备企业提供了难(nan)得的市场机遇。中(zhong)科仪的成功过会，将进一(yi)步推动高端真空设(she)备国产化替代，为我国半导体产业链(lian)安全(quan)稳定发展提供重要支撑。（全(quan)景网）
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